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            鉭酸鋰晶圓切割實例
            發布時間:2022-06-11 點擊數:121

            鉭酸鋰的材料特性

            鉭酸鋰(LiTaO3,簡稱LT)是一種重要的多功能晶體材料,它具有壓電性、介電性、熱釋電性以及電光效應、非線性光學效應和聲光效應等重要特性。鉭酸鋰晶體晶片主要原料是高純氧化鉭和碳酸鋰,是微波聲學器件用的良好材料。


            鉭酸鋰晶圓,直徑通常為100±0.2mm,厚度為0.2~0.25mm。

            鉭酸鋰的應用

            經過拋光的LT晶片廣泛用于諧振器、濾波器、換能器等電子通訊器件的制造,尤其以它良好的機電耦合、溫度系數等綜合性能而被用于制造高頻聲表面波器件,并應用在手機、對講機、衛星通訊、航空航天等許多高端通訊領域。

            鉭酸鋰晶圓的切割要點

            鉭酸鋰(LiTaO3)晶圓,具有硬脆的明顯特征,受到外力碰撞時容易產生應力而導致裂片,在薄片晶圓上表現尤為明顯,所以切割鉭酸鋰晶圓適合采用較粗的金剛石尺寸和較低的金剛石濃度。

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